半导体行业洁净室尘埃粒子浓度等级划分原则

半导体行业洁净室尘埃粒子浓度等级划分原则

无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细jun等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求洁净度、温湿度及压力等级能特性。

洁净室的发展与现代工业、高技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。

经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级：分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。

如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸是0.5um，无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。

1级；这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求位亚微米。

10级；这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

100级；很多人认为。这是使用范围面广，因而是重要的无尘车间。人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌"的或“无尘"的环境要求，100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一洁净室大量应用于植入体内物品的制造，外科手术，包括集成器的制造，那些对细jun感染特别敏感的病人的隔离治疗。

1000级；这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配高质量微型轴承等。

10000级；万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。

100000级；十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压的制造，食品饮料的生产，医药工业也常常使用这一级无尘车间。

无尘车间是一个多功能的归纳整休，多功能表现在以下两个方面。

多专业--修建、空调、净化、纯水、纯气；

多参数--空气洁净度、细菌浓度以及空气的风量、压力、噪声、照度，万级无尘车间强度高，隔热保温，可作天花围护布局板材承重，抗弯抗压，一般洁净室比较少用梁柱。

无尘车间设计要点：

一、满足生产工艺对建筑设计的要求，实现高性能的制造空间与设施。在对净化工程 无尘车间进行总图设计、平面布置、剖面设计时，须充分考虑场地的合理利用和满足工艺生产的要求。在对净化无尘车间工程的建筑进行设计时，须处理好洁净区域与其相关的辅助区的关系。

二、实现能够经济运行的设施，节约能源、易于维护、降低造价。净化无尘车间建筑设计，须确保净化无尘车间内清洁、易清扫、防止内外污染，防止微粒产生、滞留和积存。

三、应使用可靠性高的运行设施，净化无尘车间建筑设计，应确保建筑设备的安全运行，当一旦出现事故后，确保人员、财产安全。主体结构应具备同净化无尘车间内的工艺装备水平，建筑处理和装饰水平相适应的等级水平，洁净厂房的耐久性、耐火能力，装修应与装备水平相互协调，使投资长期长挥作用。

四、应实现能够适应将来变化的设施，洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有灵活性，为生产工艺的调整创造条件。

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